사업소개

자동차&BIO

High End Contact 노광기

· PCM High End Contact 노광기
10um 회로 선폭
Contact 정밀도 < 3um 이하
시스템 제어 / Alignment / Vision

– 수행실적 : 삼성전기(한국)

– 협력 : 에버테크노

Flexible 디스플레이 검사 시스템

· Flexible 디스플레이 검사 시스템
micro crack 검사

– 수행실적 : 국책과제, SDC향(한국)

Wafer 검사장비

· EFEM System 적용

· 고정밀 Linear Stage 적용 (속도 리플 0.2%이하)

· 고해상도 Line Scan Camera 적용

· Color Review System 적용

· 검출 결함 Size (20um 이상)

– 협력 : 에버테크노

BIO 칩 제작 시스템(BIO)

· BIO 칩 제작

* 정밀급 Motion

– 수행실적 : 나노엔텍(한국)